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Characterization of silicon-carbon thin films for MEMS applications

Article scientifique 2026 Autre

Résumé

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mahdi, m., Menasri, L., KHALAS, H., Chouarbi, K., Djeridan, y. (2026). Characterization of silicon-carbon thin films for MEMS applications. https://doi.org/10.21203/rs.3.rs-9485288/v1

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Auteur(s)

mohammed mahdi Lamia Menasri HAMMOUCHE KHALAS Katia Chouarbi yacine Djeridan

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