Développement et optimization des performances d’un accéléromètre convective triaxial CMOS micro-usiné

Résumé

Cette thèse porte sur l'amélioration des performances d’un microaccéléromètre convectif triaxial en termes de sensibilité, en particulier hors-plan, et d'efficacité, (i.e., rapport entre la sensibilité et l’énergie). Dans ce but, deux solutions sont étudiées par analyse numérique en utilisant un modèle FEM validé. La solution qui répond aux restrictions de la technologie CMOS 0,35µm et le post-traitement FSBM est choisie pour concevoir et fabriquer un nouvel accéléromètre convectif à 3 axes. Des simulations numériques sont utilisées pour démontrer la supériorité des performances du nouvel accéléromètre par rapport à un capteur de l’Etat de l’Art. Les sensibilités dans le plan et hors-plan maximales sont, respectivement, 246mK/g et 19mK/g. De plus, des modèles compacts analytiques sont établis pour prédire les niveaux de sensibilité dans le plan et hors-plan de microaccéléromètre nouvellement développé.

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